HIPiMS技術(shù)高能磁控電源輸出線有什么注意事項？

　  一、電源輸出線離腔體盡量近，電源線盡量短為了保證脈沖電流波形引入到真空腔體時波形不畸變，且衰減小。期望在系統(tǒng)中，脈沖電鍍電源與真空腔體的距離2-3m為佳，長線易對脈沖電流波形的上升、下降沿產(chǎn)生較大的影響，真空腔體打火時，滅弧效果有影響。二、正負極導(dǎo)線使用同軸線纜或者雙絞屏蔽脈沖電源的輸出銜接，導(dǎo)線間的電感效應(yīng)越小越好。因而陰、陽極導(dǎo)線最好的辦法就是同軸無感線纜。但為了省成本和線徑的考慮，也可使用兩根線纜高密度雙絞走線，并在外層套密的金屬織網(wǎng)屏蔽層，屏蔽層接良好的靜電地，減少對外圍設(shè)備的干擾。三、線纜線徑的選擇由于是脈沖電源，為了避免趨夫效應(yīng)，在導(dǎo)線挑選時，應(yīng)挑選多股芯線作脈沖電源到真空腔體靶極的連接線。多股芯線絞織，其間的線電容能夠抵消其電感效應(yīng)。導(dǎo)線的線徑一定要滿足其通過的平均額定電流，且耐壓值高于脈沖輸出電壓。由于脈沖電流的電流密度要比均勻電流的電流密度幾十倍甚上百倍，因而有必要考慮能接受脈沖電源的電流所發(fā)生的電流熱效應(yīng)，以保證避免電流產(chǎn)生的高溫，損傷線纜，避免出現(xiàn)安全事項，同時也減少線纜損耗。舉例：脈沖電流為1000A，占空比為1~10%，其均勻電流最大約為100A，而額定電流為：(1000×10%)×1.2≈120A，銅導(dǎo)線導(dǎo)電電流計算公式為（線徑*3~10A）在挑選導(dǎo)線時，最好挑選超過25平方毫米的銅導(dǎo)線（25*5=125A）。

一般銅線線徑與電流常用的換算方法是：

　　2.5平方毫米銅電源線的安全載流量--28A；4平方毫米銅電源線的安全載流量--35A；6平方毫米銅電源線的安全載流量--48A；10平方毫米銅電源線的安全載流量--65A；16平方毫米銅電源線的安全載流量--91A；25平方毫米銅電源線的安全載流量--120A；35平方毫米銅電源線的安全載流量--125A；估算口訣:二點五下乘以九,往上減一順號走。三十五乘三點五,雙雙成組減條件有變加折算,高溫九折銅升級穿管根數(shù)二三四,八七六折滿載流。